EBARA荏原 干式真空泵 ESA100W

EBARA荏原 干式真空泵 ESA100W

干式真空泵無需使用油或其他液體作為工作介質，因此在操作過程中不會產生油蒸氣或油霧。這一特性不僅避免了油污染問題，還確保了工作環(huán)境的潔凈度。在半導體制造和醫(yī)藥生產等對潔凈度要求極高的行業(yè)中，干式真空泵的這一優(yōu)勢尤為重要。無油操作還意味著減少了油處理和更換的頻率，降低了維護成本和停機時間。

應用領域

半導體制造：在半導體生產過程中，干式真空泵用于晶圓加工、薄膜沉積、蝕刻等工藝，確保高潔凈度的真空環(huán)境。

制藥行業(yè)：用于藥品干燥、蒸餾和包裝等環(huán)節(jié)，避免油污染對藥品質量的影響。

化工行業(yè)：適用于腐蝕性氣體或易凝結氣體的抽除，滿足化工生產中的特殊需求。

食品加工：在食品包裝和脫氣過程中，干式真空泵確保食品的安全和衛(wèi)生。

科研領域：用于實驗室的高真空實驗，提供無污染的真空環(huán)境。

干式真空泵的工作原理主要依賴于機械運動部件，如轉子、葉片或螺桿，來壓縮和排出氣體。這些運動部件在泵腔內高速旋轉，形成多個密閉的工作腔室。隨著轉子的轉動，氣體被吸入工作腔室，隨后被壓縮并排出泵外。由于整個過程無需任何液體介質，干式真空泵能夠提供潔凈的真空環(huán)境，避免了油污染和介質殘留問題。

干式真空泵的優(yōu)點

干式真空泵相較于傳統(tǒng)油封式真空泵具有諸多顯著優(yōu)點，這些優(yōu)點使其在現(xiàn)代工業(yè)應用中備受青睞。

EBARA（荏原制作所）是日本*的工業(yè)設備制造商，成立于1912年，部位于東京。憑借百年技術積淀，荏原以“為地球環(huán)境和社會基礎設施提供創(chuàng)新解決方案”為使命，業(yè)務涵蓋水泵、風機、壓縮機、環(huán)保設備及能源系統(tǒng)等領域，產品以高可靠性、節(jié)能性和*技術聞名全球。
核心業(yè)務與技術優(yōu)勢
荏原的核心產品包括：
流體機械：全球*的水泵及系統(tǒng)解決方案，廣泛應用于市政供水、工業(yè)循環(huán)、污水處理等領域，其高效節(jié)能設計顯著降低碳排放。
環(huán)境工程：提供污泥處理、廢氣凈化等環(huán)保技術，助力可持續(xù)發(fā)展。
能源設備：蒸汽輪機、燃氣壓縮機等產品服務于石油、化工及新能源產業(yè)。
半導體制造設備：高純度真空泵等產品支撐電子行業(yè)精密制造。