ULVAC愛發(fā)科 螺桿式干式真空泵 LS120A

ULVAC愛發(fā)科 螺桿式干式真空泵 LS120A

螺桿式真空泵是一種真空泵，其中泵殼中的螺桿轉(zhuǎn)子將流體引導到網(wǎng)狀間隙中并旋轉(zhuǎn)它以沿軸向連續(xù)移動流體。

“Model：LS” 是被歸類為螺桿式干式真空泵的真空泵。 過去，提高抽速需要消耗大量功率，但通過將專有的螺桿形狀與節(jié)能技術(shù)相結(jié)合，這款干式真空泵實現(xiàn)了高速排氣和低功耗。 有四種型號的陣容，您可以根據(jù)設(shè)備的大小、使用條件和用途選擇具有*泵送能力的泵。

長處

在接近大氣壓時的抽速可達 80 m3 /h，與傳統(tǒng)真空泵相比，抽氣時間可縮短約 20%。

標配的消音器也解決了干式真空泵固有的噪音問題。 極限壓力下的噪音值小于 61 dB（A），即使在運行過程中也不明顯。 (*1)

C 規(guī)格中標配的 ECO-SHOCK 技術(shù)是 ULVAC 專有的節(jié)能技術(shù)。 極限壓力下的功耗可降至 0.6 kW 或更低。 (*2)

“Model：LS” 不需要軸封氣體。 在主要排放氮氣和空氣的清潔工藝中，可以降低運行成本。 (*3)

對于想要進一步提高抽速的用戶，我們建議使用機械增壓泵。 120~ 通過組合1200 米3/h 是可訪問的。

用

C 規(guī)格：清潔工藝 （LS***A-C） 特點

：內(nèi)置 ECO-SHOCK 的低功耗型

應(yīng)用：用于清潔排氣和N2 排氣、濺射、氣相沉積、粘合、負載鎖定室、TMP 輔助等。

L 規(guī)格： 輕工藝 （LS***A-L） 特點

： 具有表面處理和吹掃功能的

輕工藝類型 應(yīng)用： 用于水蒸氣和揮發(fā)性化學廢氣等輕工藝、真空干燥、冷凍干燥、灰化、一般工業(yè)應(yīng)用等。

ULVAC（愛發(fā)科）是日本*的真空技術(shù)和精密設(shè)備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業(yè)的企業(yè)，ULVAC專注于真空設(shè)備、鍍膜系統(tǒng)、半導體制造設(shè)備、分析儀器等高科技領(lǐng)域，為電子、光伏、汽車、醫(yī)療等行業(yè)提供核心技術(shù)支持。
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋：
真空設(shè)備：干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術(shù)（PVD/CVD）：用于半導體、光學薄膜、太陽能電池等。
半導體制造設(shè)備：濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù)：OLED蒸鍍設(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。