價(jià)格
￥6,659.00
型號
LR300
品牌
ULVAC愛發(fā)科
所在地
朝陽區(qū)
更新時(shí)間
2025-09-09 08:40:27
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進(jìn)口供應(yīng)ULVAC愛發(fā)科LR300多級羅茨型干泵
進(jìn)口供應(yīng)ULVAC愛發(fā)科LR300多級羅茨型干泵
通過低溫區(qū)域的泵體均熱化，在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時(shí)間的重要的備料下料室排氣的一款泵。
特點(diǎn)
低溫區(qū)域均熱化（LR系列）
在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時(shí)間的重要的備料下料室排氣的一款泵。
氦氣密封
通過搭載屏蔽電動機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。
瞬停對策
采取了1000msec以內(nèi)瞬停對策。
*的耐腐蝕性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對泵內(nèi)部的腐蝕。
通信功能
可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報(bào)警履歷。如果使用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信，則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。
用途
成膜裝置（濺射裝置/蒸鍍裝置等）
縮短備料下料室的排氣時(shí)間
作為輔助排氣泵（渦輪分子泵、機(jī)械增壓泵的輔助排氣）
規(guī)格
| 型號 | LR60 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | |
|
* 排氣速度 |
50Hz |
62 m3/h (1030 L/min) |
112 m3/h (1860 L/min) |
183 m3/h (3100 L/min) |
440 m3/h (7333 L/min) |
440 m3/h (7333 L/min) |
| 60Hz |
80 m3/h (1333 L/min) |
126 m3/h (2100 L/min) |
237 m3/h (3950 L/min) |
|||
| 到達(dá)壓力 | 5.0 Pa | |||||
| *排氣壓力 （吸入圧力） | 大氣壓 | |||||
|
*排氣口壓力 （排出圧力） |
1~ 大氣壓 Pa | |||||
| 吸氣口 (CE規(guī)格) | VG50(KF50) | VG80(KF50) | VG100 | |||
| 排氣口 | KF40 | VG50 | ||||
| 質(zhì)量 | 180 kg | 245 kg | 335 kg | 415 kg | ||
| 電源 *1 | 三相 | 200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz) |
180~240 VAC/ 380~440 VAC(50/60 Hz) |
|||
| 電流值 | 穩(wěn)定時(shí) |
6.9 A (at 200V) |
11.2 A (at 200V) |
18.9 A (at 200V) |
20.8 A (at 200V) |
|
| *值 |
7.3 A (at 200V) |
11.8 A (at 200V) |
20.6 A (at 200V) |
48.5 A (at 200V) |
||
| 冷卻水一次壓力 | 0.1~0.3 MPa | 0.2~0.5 MPa | ||||
| 冷卻水出入口壓差 | >0.1 MPa | >0.2 MPa | ||||
| 冷卻水流量 | >5.0 L/min | >4.0 L/min | ||||
| 吹掃氣 | 一次壓力 | 0.1~0.5 MPa | ||||
| 二次壓力 | 0.05~0.1 MPa | |||||
| 氮?dú)獯祾? | 軸 | 5 SLM | ||||
| 氣鎮(zhèn) | 0~45 SLM | 沒有 | 0~45 SLM | |||
*1 請訂購時(shí)。
| 型號 | LR300 | LR600 | LR1200 | LR1800 | LR3601 |
LR3601-T (TT) |
LR3601-R |
LR3601-TR (TTR) |
|
| 使用泵 |
干式 真空泵 |
LR60 | LR90 | LR90 | LR180 | LR421 | LR421-T | LR421 | LR421-T |
|
機(jī)械 增壓泵 |
PRC-03A | PRC-06A | PRC-012A | PRC-018A | PRC-036C |
PRC-036C (-T) |
PRC-036D |
PRC-036D (D-T) |
|
|
* 排氣 速度 |
50Hz |
359 m3/h (5,980 L/min) |
653 m3/h (10,900 L/min) |
1,012 m3/h (16,900 L/min) |
1,701 m3/h (28,350 L/min) |
3,200 m3/h(53,333 L/min) | |||
| 60Hz |
365 m3/h (6,080 L/min) |
701 m3/h (11,700 L/min) |
1,051 m3/h (17,500 L/min) |
1,784 m3/h (29,700 L/min) |
|||||
| 到達(dá)壓力 | 0.67 Pa | ||||||||
|
*排氣壓力 （吸入圧力） |
大氣壓 | ||||||||
|
*排氣口壓力 （排出圧力） |
1~ 大氣壓 Pa | ||||||||
| 吸氣口 (CE規(guī)格) |
VG80 (KF80) |
VG100 (KF100) |
VG150 (KF100) |
VG150 | |||||
| 排氣口 | KF40 | KF50 | |||||||
| MBP表面處理 | 〇 *1 | 〇 *1 | 〇 *1 | 〇 *1 | × |
T:× TT:× |
× |
TR:× TTR:〇 |
|
| 質(zhì)量 | 275 kg | 370 kg | 420 kg | 545 kg | 660 kg | 720 kg | 660 kg | 720 kg | |
|
電源 *2 |
三相 | 200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz) | 180~240 VAC/380~440 VAC(50/60 Hz) | ||||||
| 電流值 | 穩(wěn)定時(shí) |
7.0 A (at 200V) |
12.3 A (at 200V) |
13.7 A (at 200V) |
21.4 A (at 200V) |
31.0 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) |
35.4 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) |
||
| *值 |
9.6 A (at 200V) |
19.0 A (at 200V) |
24.2 A (at 200V) |
39.8 A (at 200V) |
58.4 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) |
82.0 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) |
|||
|
冷卻水 一次壓力 |
0.1~0.3 MPa | 0.2~0.5 MPa | |||||||
|
冷卻水 出入口壓差 |
>0.1 MPa | 0.1~0.3 MPa | 0.2~0.5 MPa | ||||||
| 冷卻水流量 | >5.0 L/min | >4.0 L/min | |||||||
| 吹掃氣 |
一次 壓力 |
0.1~0.5 MPa | |||||||
|
二次 壓力 |
0.05~0.1 MPa | ||||||||
|
N2 吹掃 |
軸 | 5 SLM | |||||||
| 氣鎮(zhèn) | 0~45 SLM | 沒有 *3 | 0~45 SLM | 沒有 *3 | 0~45 SLM | ||||
*1 LR300、LR600、LR1200、LR1800可選是否進(jìn)行MBP表面處理。
*2 請訂購時(shí)。
*3 根據(jù)用途，使用氣鎮(zhèn)的規(guī)格也可報(bào)價(jià)。
■消音器 (選項(xiàng))
| 型號 | 材質(zhì) | 表面處理 |
重量 (kg) |
法蘭 接口 |
LR 300 |
LR 600 |
LR 1200 |
LR 1800 |
L& 3601 |
LR 60 |
LR 90 |
LR 180 |
LR 421 |
LR 421-T |
|
RS-01 + kitA |
SUS 304 |
GBB處理 |
4.1 kg |
KF40 | 〇 | - | - | - | - | 〇 | 〇 | - | - | - |
|
RS-01 + kitB |
KF40 | - | 〇 | 〇 | - | - | - | - | - | - | - | |||
|
RS-02 + kitA |
8.3 kg |
KF40 | 〇 | - | - | - | - | - | - | 〇 | - | - | ||
|
RS-02 + kitB |
KF40 | - | 〇 | 〇 | 〇 | - | - | - | - | - | - | |||
|
RS-03 + kitA |
磨板 |
12.5 kg |
KF50 | - | - | - | - | - | - | - | - | 〇 | 〇 | |
|
RS-03 + kitB |
- | - | - | - | 〇 | - | - | - | - |
- |
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