產(chǎn)品背景

激光干涉測(cè)量使用光的波長(zhǎng)作為測(cè)量單位的基本原理在19世紀(jì)80代左右開(kāi)始提出。從那以后起，這一原理雖然歷經(jīng)發(fā)展和完善，但始終以測(cè)量光波干涉為依據(jù)，因此得名“干涉測(cè)量”。詳詢李工（vx）

激光系統(tǒng)射出的光波具有三種主要特性：

? 已知波長(zhǎng)，可實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確測(cè)量

? 波長(zhǎng)非常短，可實(shí)現(xiàn)或高分辨率測(cè)量

? 所有光波相位相同，可根據(jù)已知的基準(zhǔn)進(jìn)行測(cè)量

  干涉測(cè)量是一種相對(duì)運(yùn)動(dòng)測(cè)量（從初始位置開(kāi)始測(cè)量），而不是一種*測(cè)量（從特定位置開(kāi)始測(cè)量）。不同的光學(xué)鏡組將激光光束穿過(guò)不同的路徑，可從單個(gè)激光裝置進(jìn)行多種模式測(cè)量（例如，線性、角度、直線度）。

環(huán)境補(bǔ)償，無(wú)論您的激光裝置多么準(zhǔn)確和穩(wěn)定，激光的測(cè)量波長(zhǎng)都會(huì)因其傳播環(huán)境而改變。氣溫、氣壓和相對(duì)濕度的任何變化都將導(dǎo)致測(cè)量誤差。

若沒(méi)有可靠準(zhǔn)確的波長(zhǎng)補(bǔ)償，即使在典型的環(huán)境條件下，也常常會(huì)出現(xiàn)20 ppm（百萬(wàn)分）的線性測(cè)量誤差。通過(guò)應(yīng)用的環(huán)境補(bǔ)償，可將這些誤差降至±0.5 ppm。詳詢李工（vx）

產(chǎn)品介紹

雷尼紹XL-80激光干涉儀，可用于：

1.機(jī)床與坐標(biāo)測(cè)量機(jī)(CMM)

按照國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)驗(yàn)證機(jī)床和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的精品工具

2.研發(fā)與計(jì)量

供校準(zhǔn)和研究實(shí)驗(yàn)室使用的可溯源性測(cè)量

運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)

3.動(dòng)態(tài)性能，支持高速、高分辨率應(yīng)用

校準(zhǔn)是過(guò)程控制的基礎(chǔ)

現(xiàn)代工業(yè)需要滿足日益嚴(yán)格的公差、客戶計(jì)劃以及國(guó)際質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)的要求。與此同時(shí)，還要承受降低成本的壓力，因此生產(chǎn)設(shè)備的工作性能受到前所未有的重視。測(cè)量和校準(zhǔn)設(shè)備可提供幫助...

產(chǎn)品益處

給設(shè)備用戶帶來(lái)的好處 

1.提高產(chǎn)量

2.符合ISO9000系列標(biāo)準(zhǔn)

3.從競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手那里贏得高精度加工合同  

4.通過(guò)識(shí)別自身的誤差來(lái)源延長(zhǎng)機(jī)器使用壽命

5.對(duì)機(jī)器性能進(jìn)行分級(jí)，為每一項(xiàng)作業(yè)選擇*機(jī)器

6.通過(guò)監(jiān)測(cè)磨損情況，計(jì)劃并*限度減少機(jī)器停機(jī)時(shí)間

給設(shè)備制造商帶來(lái)的好處 

1.證明符合規(guī)范

2.改進(jìn)機(jī)器設(shè)計(jì)

3.提供*的維護(hù)服務(wù)

4.建造精度更高的機(jī)器

5.減少機(jī)器制造周期時(shí)間

6.在制造過(guò)程中對(duì)機(jī)器進(jìn)行測(cè)試和診斷

1.線性測(cè)量

線性設(shè)置可沿軸測(cè)量位置精度該設(shè)置通過(guò)比較機(jī)器控制器上顯示的運(yùn)動(dòng)與激光系統(tǒng)測(cè)量的運(yùn)動(dòng)，來(lái)測(cè)量軸的線性定位精度。該設(shè)置提供的精度達(dá)±0.5 ppm（百萬(wàn)分），分辨率達(dá)1納米。軸的重復(fù)性可通過(guò)多次測(cè)試進(jìn)行測(cè)量。在線性測(cè)量過(guò)程中，激光系統(tǒng)會(huì)測(cè)量參考位置沿測(cè)量光路到光學(xué)反射鏡之間相對(duì)距離的變化。可以移動(dòng)其中一個(gè)光學(xué)組件，另一個(gè)光學(xué)組件保持靜止不動(dòng)。40 m - 80 m范圍內(nèi)的應(yīng)用可使用長(zhǎng)距離線性組件。

2.角度測(cè)量

角度設(shè)置可沿軸測(cè)量俯仰和扭擺誤差，俯仰和扭擺角度誤差是造成機(jī)床和坐標(biāo)測(cè)量機(jī)位置誤差的兩個(gè)主要因素。即使是主軸的一個(gè)小誤差，都可能對(duì)刀尖造成重大影響。這一設(shè)置可以測(cè)量高達(dá)±10°的角度偏移，分辨率為0.01角秒。通過(guò)監(jiān)測(cè)角度反射鏡的移動(dòng)產(chǎn)生的光路變化進(jìn)行角度測(cè)量。角度干涉鏡*安裝在機(jī)器上的某個(gè)固定位置。然后將角度反射鏡安裝在機(jī)器的移動(dòng)部件上。詳詢于工（vx）

3.直線度測(cè)量

直線度設(shè)置可測(cè)量與移動(dòng)軸垂直平面內(nèi)的誤差直線度測(cè)量結(jié)果記錄了垂直于軸運(yùn)動(dòng)的水平和垂直平面內(nèi)的誤差。直線度誤差會(huì)直接影響機(jī)器的位置精度及輪廓精度。這可能是因?yàn)閷?dǎo)軌磨損、事故或機(jī)器地基不牢造成的。通過(guò)監(jiān)測(cè)直線度反射鏡或直線度分光鏡（Wollaston棱鏡）的橫向位移產(chǎn)生的光路變化進(jìn)行直線度測(cè)量。可提供測(cè)量較短的軸 (0.1 – 4 m) 和較長(zhǎng)的軸 (1 – 30 m) 的組件。結(jié)合兩個(gè)直線度測(cè)量結(jié)果可評(píng)估獨(dú)立軸的平行度。可提供用于測(cè)量垂直軸直線度的附件。

? 直線度光閘

? 大角錐反射鏡

? 直線度基板

? 激光準(zhǔn)直輔助鏡

? 固定轉(zhuǎn)向鏡

? 可調(diào)式轉(zhuǎn)向鏡

4.回轉(zhuǎn)軸測(cè)量

XR20-W回轉(zhuǎn)軸校準(zhǔn)裝置和XL-80激光系統(tǒng)可測(cè)量回轉(zhuǎn)軸的位置精度該回轉(zhuǎn)設(shè)置可通過(guò)比較機(jī)器控制器上顯示的運(yùn)動(dòng)和硬件測(cè)量的運(yùn)動(dòng)，來(lái)測(cè)量回轉(zhuǎn)軸的位置精度。該設(shè)置采用了XL-80激光 系統(tǒng)、XR20-W回轉(zhuǎn)軸校準(zhǔn)裝置和角度干涉鏡。XR20-W配備一個(gè)緊湊輕巧的無(wú)線設(shè)備，可在±1角秒的精度范圍內(nèi)采集回轉(zhuǎn)位置數(shù)據(jù)。XR20-W在設(shè)計(jì)上易于使用、數(shù)據(jù)采集速度迄今為止*快且無(wú)需操作人員干預(yù)。它提供可溯源的測(cè)量結(jié)果，可利用RotaryXL軟件包按照國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)出具報(bào)告?！皵[動(dòng)軸轉(zhuǎn)臺(tái)測(cè)量軟件”能夠在很難將XR20-W安裝到機(jī)床回轉(zhuǎn)軸中心點(diǎn)的機(jī)床配置中使用該系統(tǒng)。詳詢李工（vx）

5.平面度測(cè)量

該平面度設(shè)置可測(cè)量坐標(biāo)測(cè)量機(jī)臺(tái)面以及各種平板的表面形狀平面度測(cè)量對(duì)表面的形狀進(jìn)行分析。這可用于創(chuàng)建三維圖并記錄與理想平面的偏差。如果這些誤差對(duì)應(yīng)用的影響很大，那么可能需要進(jìn)行拋光等修正工作。平面度測(cè)量組件包含兩個(gè)平面度鏡和三個(gè)適合不同平面尺寸的基板。平面度鏡不僅可以水平旋轉(zhuǎn)，還可以垂直調(diào)整傾斜。這可以實(shí)現(xiàn)對(duì)激光光束的水平和垂直調(diào)整。另外，平面度測(cè)量還需要使用角度測(cè)量光學(xué)鏡組。

執(zhí)行平面度測(cè)量的兩種標(biāo)準(zhǔn)方法均由激光軟件支持：

? 對(duì)角線（莫氏）法 — 僅限在八條預(yù)定義的直線上進(jìn)行測(cè)量。

? 網(wǎng)格法 — 任何數(shù)量的直線均可在整個(gè)平面的兩個(gè)正交方向上進(jìn)行測(cè)量。

6.垂直度測(cè)量

該垂直度設(shè)置可測(cè)量?jī)蓷l標(biāo)稱垂直坐標(biāo)軸的垂直度軸之間需要相互垂直并在整個(gè)軸長(zhǎng)度保持準(zhǔn)確。垂直度誤差將直接影響機(jī)器生產(chǎn)的工件的定位精度。這些誤差可能是因?yàn)闄C(jī)器地基移動(dòng)或龍門機(jī)器參考點(diǎn)位置傳感器安裝失調(diào)所致。通過(guò)使用一個(gè)經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)的光學(xué)角尺并結(jié)合兩個(gè)直線度測(cè)量結(jié)果，可以計(jì)算兩軸之間的垂直度。要完成垂直軸的垂直度測(cè)量，需要使用前面提到的用于測(cè)量垂直方向直線度的附件。根據(jù)應(yīng)用的配置，可能還需要其他安裝附件。您當(dāng)?shù)氐睦啄峤B辦事處可為您提供*個(gè)性化解決方案的建議。詳詢李工（vx）